PVA TePla AG übernimmt Munich Metrology GmbH

By on Juli 7, 2012

Die PVA TePla AG, Wettenberg, ein Hersteller von Anlagen für die Kristallisation von Silizium sowie von Vakuum- und Hochtemperaturanlagen, stärkt mit der Übernahme der Munich Metrology GmbH, München, ihre Kompetenz auf dem Gebiet der analytischen Systeme für die Halbleiterindustrie.

Die PVA TePla AG übernimmt zum 6. Juli 2012 die Munich Metrology GmbH. Das Unternehmen, ursprünglich hervorgegangen aus der GeMeTec mbH, entwickelt und vertreibt weltweit innovative Analysesysteme zur Bestimmung der Oberflächenverunreinigungen auf Wafern für die Halbleiterindustrie. Insbesondere metallische Verunreinigungen können mittels der bei Munich Metrology entwickelten VPD (Vapour-Phase-Decomposition)-Technologie mit einer äußerst hohen Empfindlichkeit und Reproduzierbarkeit erfasst werden… vollständiger Artikel


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